勻膠旋涂儀操作簡單，結(jié)構(gòu)小巧緊湊，占地空間小，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案?？捎糜趯?shí)驗(yàn)室項(xiàng)目建設(shè).作為用于除半導(dǎo)體外,還有硅片、芯片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝，科研、教學(xué)之用。
勻膠旋涂儀的使用注意事項(xiàng)：
1.使用前主要檢查設(shè)備與真空泵和氮?dú)馄康慕涌谑欠衤猓?br />
2.實(shí)驗(yàn)時(shí)，依次打開設(shè)備電源開關(guān)，氮?dú)?干燥氣體瓶閥門，真空開關(guān)，結(jié)束時(shí)，先關(guān)真空，再關(guān)氮?dú)?干燥氣體瓶閥門；
3.氮?dú)?干燥氣體的壓力控制不宜過大建議氮?dú)馄繗鈮簭?.35MPa起緩慢上調(diào)，直至設(shè)備控制面板上的CDA停止閃爍即停止調(diào)整；
4.嚴(yán)禁放置超出設(shè)備限定范圍的過大過重材料，否則將會(huì)損壞設(shè)備的旋控精度；
5.所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右,如果用大吸附盤甩小的樣片就會(huì)產(chǎn)生漏氣，同時(shí)造成膠被吸入抽氣室，導(dǎo)致氣路堵塞；
6.如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進(jìn)行清洗，否則吸附盤、光電盤、電機(jī)軸會(huì)黏在一起，造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動(dòng),拆卸亦很困難；
7.氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)電機(jī)也可運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動(dòng)電機(jī)前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住；
8.實(shí)驗(yàn)期間設(shè)備閑置時(shí)，為了保護(hù)好泵的工作性能，請(qǐng)關(guān)閉真空泵，建議泵的連續(xù)作業(yè)不超過1小時(shí)；
9.實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，請(qǐng)拭去設(shè)備內(nèi)腔殘留物，并清空廢液接收罐，使用原片遮住,將設(shè)各用塑料封套蓋好以避污染；
10.對(duì)于廢液廢氣的排放和處置，請(qǐng)遵守試劑使用的相關(guān)環(huán)保說明。
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