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首頁 > 產(chǎn)品中心 > CIF材料表面處理儀器 > CIF等離子清洗機(jī) > CPC-10/PlusCIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列

CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列

簡要描述:CIF推出全新一代 CPC-10系列實(shí)驗(yàn)室型等離子體清洗設(shè)備, 改變傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計(jì)理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價(jià)比高, 處理快速高效, 特別適合于大學(xué), 科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。

  • 產(chǎn)品型號:CPC-10/Plus
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-08-28
  • 訪  問  量:1985

詳細(xì)介紹

品牌CIF產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源

產(chǎn)品特點(diǎn):

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆  PLC 工控機(jī)控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。

◆  采用質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。

◆  HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

◆  60 度傾角操作界面設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。

◆  頂置真空艙,上開蓋設(shè)計(jì),下壓式鉸鏈開關(guān)方式,開關(guān)蓋方便。

◆  采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。

◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作更方便。

◆  有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆  安全保護(hù),艙門打開,自動關(guān)閉電源。


技術(shù)參數(shù):

 

型號

CPC-10

CPC-10plus

CPC-10M

CPC-10Mplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-300W

0-600W

0-300W

匹配器

自動匹配

自動匹配

激發(fā)方式

電容式

電容式

氣體控制

雙浮子流量計(jì)

單路 MFC(可選兩路)

艙體尺寸

L300xΦ215mm

L300xΦ215mm

艙體容積

10.8L

10.8L

艙體材質(zhì)

不銹鋼

不銹鋼

有效處理尺寸

L300xW215mm

L300xW215mm

時(shí)間設(shè)定

9999 秒

9999 秒

真空泵

抽速 8m3/h

抽速 8m3/h

氣體穩(wěn)定時(shí)間

1 分鐘

1 分鐘

真空度

100pa 以內(nèi)

100pa 以內(nèi)

   

AC220V 50/60Hz  766/466W

AC220V 50/60Hz  752/452W

產(chǎn)品尺寸

L645xW550xH495mm

L645xW550xH495mm

包裝尺寸

L750xW700xH720mm

L750xW700xH720mm

整機(jī)重量

55kg

55kg

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