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RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)的工作原理基于化學(xué)反應(yīng)和物理轟擊的相結(jié)合。在刻蝕過程中，刻蝕氣體在高頻電場的作用下電離形成等離子體。等離子體中的活性粒子(如離子、電子、自由基等)具有很高的化學(xué)活性，可以與被刻蝕材料表面的原子反應(yīng)生成揮發(fā)性產(chǎn)物，從而實現(xiàn)材料的化學(xué)刻蝕。同時，高能離子在陰極附近...

第七屆亞洲國際摩擦學(xué)大會暨第九屆中國國際摩擦學(xué)大會(ASIATRIB&CICT2024)于2024年9月15日在天津社會山國際會議中心酒店隆重開幕。本次大會由中國機(jī)械工程學(xué)會摩擦學(xué)分會主辦、清華大學(xué)天津裝備研究院承辦，西南交通大學(xué)、清華大學(xué)裝備界面科學(xué)與技術(shù)全國重點實驗室、華海清...

第十一屆中國微流控學(xué)術(shù)論壇暨第四屆國際微流控產(chǎn)業(yè)論壇于2024年9月21-22日在杭州寶盛水博園大酒店成功舉行。微流控芯片技術(shù)作為一項多學(xué)科交叉的新型生物分析技術(shù)，在醫(yī)療體外診斷、藥物篩選、環(huán)境監(jiān)測、食品安全、微納材料制備等眾多領(lǐng)域已獲得深入的研究和廣泛的應(yīng)用。學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界一致...

電鏡等離子清洗機(jī)不僅在科研和工業(yè)界有著廣泛的應(yīng)用，其高效的清洗能力和材料表面改性功能也推動了現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展。確保按照正確的操作流程使用設(shè)備，不僅可以達(dá)到良好的清洗效果，還可以延長設(shè)備的使用壽命，保證操作的安全性。電鏡等離子清洗機(jī)的工作原理：-在操作過程中，需要將清洗機(jī)的工作腔通過...

反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE)，全稱為ReactiveIonEtching，是一種在半導(dǎo)體制造中廣泛使用的干法刻蝕技術(shù)。這項技術(shù)主要通過物理性和化學(xué)性的反應(yīng)來實現(xiàn)對材料的準(zhǔn)確刻蝕，以形成微細(xì)的電子結(jié)構(gòu)。能夠?qū)崿F(xiàn)較高的刻蝕精度，適用于微米甚至納米級別的圖案制作；該技術(shù)提供了良好的刻蝕方向...

“中國材料大會”是中國材料研究學(xué)會的學(xué)術(shù)年會，是重要的系列品牌會議之一，是中國新材料界學(xué)術(shù)水平最高、涉及領(lǐng)域廣、前沿動態(tài)最新的超萬人學(xué)術(shù)大會，是面向國家重大需求、推動新材料前沿重大突破的高水平品牌大會。為推動經(jīng)濟(jì)社會高質(zhì)量發(fā)展，加快建設(shè)科技強(qiáng)國，實現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)，于2024...

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基)；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但...

等離子表面處理儀是一種利用放電形成的等離子體對材料表面進(jìn)行處理的設(shè)備。等離子體是一種由電子、離子、原子和分子等粒子組成的電中性物質(zhì)，具有高度活性和能量。通過控制等離子體的產(chǎn)生和處理條件，可以對材料表面進(jìn)行微觀級別的處理，實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等多種目的。等離子表面處理儀的工作...